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本文標題:"集成電路檢測分析用的立體顯微鏡制造廠商及型號"

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集成電路檢測分析用的立體顯微鏡制造廠商及型號

 
 
    然而,利用入射光時,為了易于暗場照明.必須利用配備有環(huán)狀聚光鏡的物鏡或利
用包含與光路中心相一致的暗場光闌的物鏡。因此,暗場照明要求專用于暗場顯微術
的專用物鏡(前面提到的Leitz WetzlarTM L 50 X /0. 60 NA DF屬于暗場物鏡,DF表
示暗場)。
 
    要討論的最后一項技術楚干涉反差照明技術。干涉反差照明的專用形式是諾馬
爾斯基(Nomarski )差動干涉反差照明(DIC)。這項技術十分受集成電路分析入員歡
迎,因為利用這項技術時很細微的細節(jié)都變得非常明顯。有時,它也會表現(xiàn)出表面凸
起。同暗場照明一樣,干涉反差照明需要特殊的顯微鏈設備和轉換器,用于構成每臺
顯微鏡的專用裝置都委托顯微鏡制造完成。
 
集成電路故障分析技術顯微鏡制造廠
 

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