本文標(biāo)題："表面輪廓定量測(cè)量常用的光學(xué)顯微鏡定制應(yīng)用"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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表面輪廓定量測(cè)量常用的光學(xué)顯微鏡定制應(yīng)用
自動(dòng)觸針系統(tǒng)
觸針式儀器是得到表面輪廓定量測(cè)量的傳統(tǒng)工具，然而，由于
它可能劃傷表面以及對(duì)表面的錯(cuò)誤描述面受到批評(píng)，非接觸測(cè)量
技術(shù)的倡導(dǎo)都對(duì)觸針拖動(dòng)引起的劃傷和由于針尖有限半徑引起的
衰減影響進(jìn)行過(guò)評(píng)論。
在許多工程、機(jī)械制造經(jīng)濟(jì)學(xué)、節(jié)能和特別是影響普通消費(fèi)者
的醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域里，加深了對(duì)表面表面粗糙度儀重要性的認(rèn)識(shí)，這對(duì)目前
工程表面的研究趕著促進(jìn)作用，令人驚訝的是，這種研究突出了
需要直接解決的新問(wèn)題，以便解決提供足夠的表面特征的原始課
題。
盡管在二十多年前就已認(rèn)識(shí)到單個(gè)表面特征參數(shù)不太適當(dāng)，但
是工程表面的標(biāo)準(zhǔn)很少發(fā)生改變，停止不前的原因主要是沒(méi)有認(rèn)
識(shí)到三維問(wèn)題，制作了精巧的能在整個(gè)被測(cè)表面上平行滑行的觸
針式掃描機(jī)構(gòu)，以便能得到三維信息，后來(lái)，利用類似的原理用
泰勒塞夫輪廓儀做了個(gè)掃描系統(tǒng)，它能滿意地用來(lái)解決實(shí)際問(wèn)題
，然而，它要求對(duì)泰勒塞夫的設(shè)備作較大的變動(dòng)，以便在每次滑
行以后將其觸針臂返回到起始位置。
掃描電子顯微鏡本身就能方便地掃描并產(chǎn)生所研究表面的圖象
，嘗試過(guò)用三種方法定量分析來(lái)自掃描電鏡的信息：信息強(qiáng)度即
對(duì)比度，立體照相和電子光截法，在每種方法中，都遇到二次電
子發(fā)射的判斷和預(yù)測(cè)問(wèn)題，在分析表面粗糙度時(shí)也研究過(guò)微波的
應(yīng)用，但還沒(méi)有成功，表面的算術(shù)平均粗度值和度量反射能力的
安培計(jì)相應(yīng)讀數(shù)之間沒(méi)有確切的關(guān)系。
同時(shí)，分差帶的要求與他們自己的表面微觀結(jié)構(gòu)相比將變得更
接近，而我們已經(jīng)充分建立起來(lái)的解析工程表面的觸針式儀器仍
然是最富有生命力的工具。
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