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本文標(biāo)題:"多種方法觀察分析氧化動(dòng)力和形貌特征-綜合實(shí)驗(yàn)顯微鏡"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------ 人瀏覽過(guò)-----時(shí)間:2016-9-28 16:39:31

多種方法觀察分析氧化動(dòng)力和形貌特征-綜合實(shí)驗(yàn)顯微鏡

 
  x射線光電子能譜(XPS)通過(guò)用x射線轟擊樣品產(chǎn)生的光電子得到化
學(xué)方面的信息,光電子具有的能量與俄歇電子的相似,所以樣品的檢測(cè)
深度與AES相近。但是x射線很難進(jìn)行微聚焦,所以空間分辨率低于AES
。XPS的優(yōu)勢(shì)在于光電子的能量是固體中電子結(jié)合能的函數(shù),所以能給
出元素離子化狀態(tài)方面的信息,即,是以基態(tài)還是以氧化物或氮化物的
形式存在等。
 
  另一種有用的分析技術(shù)是二次離子質(zhì)譜(SIMS),用離子束濺射樣品
表面,并用質(zhì)譜儀分析濺射出來(lái)的離子。SIMS能對(duì)表面非常薄的膜進(jìn)行
精確的化學(xué)分析,隨著濺射的進(jìn)行,可得到樣品的濃度一深度變化曲線
 
  以上方法的應(yīng)用是氧化研究的非常重要的組成部分,現(xiàn)在這方面的
專題會(huì)議經(jīng)常定期舉行。這里要強(qiáng)調(diào)指出,氧化機(jī)理研究就是恰當(dāng)應(yīng)用
上述多種方法觀察分析氧化動(dòng)力學(xué)和形貌特征,然后將結(jié)果加以綜合。
 

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