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本文標題:"AFM顯微鏡發(fā)明突破了STM對樣品材料的導電要求"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2016-12-7 1:40:2

AFM顯微鏡的發(fā)明突破了STM對樣品材料的導電要求

 
    AFM的發(fā)明突破了STM對樣品材料的導電要求,可對包括絕緣表
面在內的各類表面進行接近原子級分辨精度的形貌測量。因而AFM
在超精密加工表面形貌測量領域有著極其重要的應用價值。以常見
的接觸模式為例,系統(tǒng)工作時,AFM探針針尖與樣品表面保持準接
觸狀態(tài),且針尖相對于樣品表面做X、y向柵格掃描運動。掃描過程
中,探針的懸臂梁將受樣品表面形貌的調制而發(fā)生形變。這一形變
量則由力檢測系統(tǒng)檢測獲得并將其反饋至控制系統(tǒng)。控制系統(tǒng)進而
控制掃描管沿Z向伸縮變化以保持懸臂梁的形變量恒定。這樣系統(tǒng)
便可通過采集掃描管的Z向伸縮量信息獲得樣品表面的三維形貌。
 

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