本文標題："影響測量的分辨率和形狀-達到數十微米"

影響測量的分辨率和形狀-達到數十微米

幾種基于米勞干涉原理或者邁克爾孫干涉原理的測量
儀器可以實現高度小于1 nm的測量，其相應的軟件可以呈
現最大高度的變化和斜率相對于統計周期的變化，或者超過
毫米級孔徑的功率譜密度問題。
商用的斐索干涉儀可以給出斜率統計的報告，其橫向空
間分辨率最好時可以達到數十微米。
探針式輪廓儀采用線性掃描來實現測量。其探針直徑
的大小直接影響測量的分辨率和掃描形狀。目前探針的半
徑可以做到0．2μm以下。此外．探針接觸力的大小很容易
超過材料的屈服強度．因此合適的校準和振動隔離是至關重
要的。
原子力顯微鏡AFM的探針半徑在納米范圍．可以測
量的高度達到0．04nm(原子半徑)．但掃描整個區域的速度
很慢。

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