本文標(biāo)題："微元件尺寸測(cè)量影像測(cè)量?jī)x廠商-光學(xué)式測(cè)量顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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什么是複合壓力微感測(cè)元件
複合壓力微感測(cè)元件，根據(jù)矽半導(dǎo)體微加工技術(shù)，
單一感測(cè)體包含四組惠斯頓感測(cè)電橋，每一組電橋有四個(gè)壓阻感測(cè)器分佈于量測(cè)薄膜上，薄膜厚度為20 μ m ，寬度為120 μ m ，
元件最佳應(yīng)力響應(yīng)值為0.417MPa/mmHg ，最大量測(cè)范圍為300mmHg ，模擬靈敏度可達(dá)77.17 μ V/V/㎜Hg ，
完成之微元件尺寸為6.5 ㎜×6 ㎜×0.7 ㎜。微感測(cè)體個(gè)別壓阻值量測(cè)誤差小于3%；當(dāng)溫度介于25 ℃~55 ℃時(shí)，
電阻值對(duì)溫度之非線性度誤差小于2%，可應(yīng)用于醫(yī)療診斷，亦可應(yīng)用于產(chǎn)業(yè)與日常生活相關(guān)之力與壓力之感測(cè)與量測(cè)。
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微元件尺寸測(cè)量影像測(cè)量?jī)x廠商-光學(xué)式測(cè)量顯微鏡,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
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